微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。主要由传感器、执行器和微能源三大部分组成。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器。
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