应用场景

新材料研发-灌封胶

MPCVD

MPCVD腔室等离子体、电场、电子分布等优化设计

产线优化-CMP设备

半导体装备研制-MOCVD模型1

MOCVD腔室流场均匀性、温度场均匀性分布等优化设计

产线优化-ALD设备

产线优化-混合键合设备

产线优化-晶圆切割设备

新器件设计-新器件3